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樓主 發(fā)表于: 2024-12-20
, 來(lái)自:江蘇省0==
近日
蘇州市工信局公示了
2024年蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備名單
昆山高新區(qū)2家企業(yè)裝備入選
分別是
昆山龍雨智能科技有限公司
M6高速高精度全自動(dòng)VCM功能測(cè)試設(shè)備
蘇州尊恒半導(dǎo)體科技有限公司
晶圓級(jí)垂直式全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備ZH100-A（雙面）
截至目前
全區(qū)已有6件裝備
通過(guò)蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備認(rèn)定
占昆山總量的43%
位列全市第一
指蘇州,、無(wú)錫、常州三市企業(yè)通過(guò)研發(fā)創(chuàng)新,，其品種,、規(guī)格或技術(shù)參數(shù)等有重大突破，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)內(nèi)或國(guó)際首臺(tái)（套）高端裝備和關(guān)鍵部件,，整機(jī)性能或核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先或國(guó)際同類裝備先進(jìn)水平,。
M6高速高精度全自動(dòng)VCM功能測(cè)試設(shè)備
該裝備首次采用高精度5次元測(cè)試技術(shù)和高精度針模導(dǎo)通設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)自動(dòng)對(duì)焦AF和光學(xué)防抖OIS的全自動(dòng)功能測(cè)試,。此外,，該裝備還首次采用了封閉式干擾屏蔽系統(tǒng),、單獨(dú)的減震系統(tǒng)、特殊的調(diào)試確認(rèn)機(jī)制,，保證了測(cè)試的穩(wěn)定性及VCM馬達(dá)放置位置的一致性,，降低了在測(cè)試時(shí)VCM馬達(dá)的NG率。該技術(shù)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)VCM5次元測(cè)試領(lǐng)域的空白,，整機(jī)技術(shù)處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平,。
在產(chǎn)品功能上，該裝備實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)測(cè)試,、多機(jī)并線測(cè)試,、中轉(zhuǎn)儲(chǔ)料等功能的突破；在性能指標(biāo)上,，該裝備比舜宇集團(tuán)的VCM檢測(cè)設(shè)備在OIS+AF測(cè)試重復(fù)性精度及電阻測(cè)試精度方面提升了10倍,，測(cè)試針阻抗由100mΩ降低至30mΩ，技術(shù)參數(shù)實(shí)現(xiàn)了重大突破,。
晶圓級(jí)垂直式全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備ZH100-A（雙面）
該裝備是我國(guó)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代,、面向半導(dǎo)體晶圓級(jí)封裝的高精度、雙晶圓智能垂直式電鍍機(jī),，在高頻高速電鍍工藝技術(shù),、晶圓雙面夾持裝置全自動(dòng)拆裝技術(shù)、電鍍前處理潤(rùn)濕工藝,、晶圓負(fù)壓干燥技術(shù)和整機(jī)結(jié)構(gòu)可靠性設(shè)計(jì)技術(shù)等多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)方面取得了新突破,。
該裝備能滿足半導(dǎo)體無(wú)人工廠全自動(dòng)天車搬運(yùn)要求,，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品自動(dòng)生產(chǎn),、藥液自動(dòng)分析、藥液自動(dòng)添加,、工藝參數(shù)自動(dòng)選取,、數(shù)據(jù)自動(dòng)上傳等智能化功能。目前,，該設(shè)備自動(dòng)化程度已達(dá)半導(dǎo)體晶圓廠要求,，且能兼容8寸、12寸產(chǎn)品和多種晶圓傳輸料盤,，滿足多場(chǎng)景應(yīng)用,。
引導(dǎo)裝備企業(yè)開(kāi)展關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)
下一步,，昆山高新區(qū)將進(jìn)一步強(qiáng)化企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新主體地位,，支持企業(yè)依托科研院所、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等開(kāi)展協(xié)同創(chuàng)新,，加快自主創(chuàng)新產(chǎn)品研發(fā)推廣應(yīng)用,，形成良好的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài),，為發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力注入強(qiáng)勁動(dòng)力。
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