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日前
由江蘇艾森半導體材料股份有限公司
自主開發(fā)的正性PSPI產(chǎn)品
已獲得晶圓頭部企業(yè)的首筆訂單
這是正性PSPI在主流晶圓廠的
首個國產(chǎn)化材料訂單
成功打破國外企業(yè)壟斷
具有國產(chǎn)化里程碑意義
是兼有耐熱性能與感光性能的一類高分子材料,,同時具有電絕緣性,,可保護半導體電路免受物理和化學條件的影響。與傳統(tǒng)非光敏PI相比,,PSPI本身有著很好的感光性能,,在使用時無需涂覆僅起工作介質(zhì)作用的光刻膠,可以大大縮短工序,,提高生產(chǎn)效率,。
目前,該技術(shù)被廣泛應用于晶圓的鈍化防護層,、功率器件及IGBT的絕緣高溫防護層,、α射線屏蔽材料等,,對器件的應用可靠性起關鍵作用,。
近年來,,艾森股份圍繞電子電鍍,、光刻兩個半導體制造及封裝過程中的關鍵工藝環(huán)節(jié),形成了電鍍液及配套試劑,、光刻膠及配套試劑兩大產(chǎn)品板塊布局,。“在光刻膠及配套試劑方面,,我們聚焦于特色工藝光刻膠,,實施差異化,、高端化的發(fā)展戰(zhàn)略,累計申請發(fā)明專利90項,,已授權(quán)39項,。”企業(yè)相關負責人介紹,,目前企業(yè)正積極布局負性PSPI,、低溫交聯(lián)型PSPI、超高感度PSPI以及類PI型材料,,預計數(shù)年內(nèi)可完成材料認證工作,,進入量產(chǎn)階段。
來源:昆山發(fā)布
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