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日前
由江蘇艾森半導(dǎo)體材料股份有限公司
自主開(kāi)發(fā)的正性PSPI產(chǎn)品
已獲得晶圓頭部企業(yè)的首筆訂單
這是正性PSPI在主流晶圓廠的
首個(gè)國(guó)產(chǎn)化材料訂單
成功打破國(guó)外企業(yè)壟斷
具有國(guó)產(chǎn)化里程碑意義
是兼有耐熱性能與感光性能的一類高分子材料,,同時(shí)具有電絕緣性,,可保護(hù)半導(dǎo)體電路免受物理和化學(xué)條件的影響,。與傳統(tǒng)非光敏PI相比,,PSPI本身有著很好的感光性能,在使用時(shí)無(wú)需涂覆僅起工作介質(zhì)作用的光刻膠,,可以大大縮短工序,,提高生產(chǎn)效率。
目前,,該技術(shù)被廣泛應(yīng)用于晶圓的鈍化防護(hù)層,、功率器件及IGBT的絕緣高溫防護(hù)層、α射線屏蔽材料等,,對(duì)器件的應(yīng)用可靠性起關(guān)鍵作用,。
近年來(lái),,艾森股份圍繞電子電鍍,、光刻兩個(gè)半導(dǎo)體制造及封裝過(guò)程中的關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),形成了電鍍液及配套試劑,、光刻膠及配套試劑兩大產(chǎn)品板塊布局,。“在光刻膠及配套試劑方面,,我們聚焦于特色工藝光刻膠,實(shí)施差異化,、高端化的發(fā)展戰(zhàn)略,,累計(jì)申請(qǐng)發(fā)明專利90項(xiàng),已授權(quán)39項(xiàng),�,!逼髽I(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,目前企業(yè)正積極布局負(fù)性PSPI,、低溫交聯(lián)型PSPI,、超高感度PSPI以及類PI型材料,預(yù)計(jì)數(shù)年內(nèi)可完成材料認(rèn)證工作,,進(jìn)入量產(chǎn)階段,。
來(lái)源:昆山發(fā)布
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